全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機為半導(dǎo)體襯底片清洗而設(shè)計的超聲波清洗設(shè)備。整個工藝流程使用PLC編程控制，可根據(jù)清洗工藝要求，靈活設(shè)置動作參數(shù)。采用全自動化運行過程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時間長，實現(xiàn)清洗流程的自動化作業(yè)，降低操作人員勞動強度，提高設(shè)備的生產(chǎn)能力和清洗效果。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機技術(shù)參數(shù)：

槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置。

清洗液**加熱溫度可達80度。

設(shè)有快速排放功能，排放次數(shù)可設(shè)置。

可清洗多種和尺寸的晶片（2寸、4寸等）.

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。

超聲波頻率可選配多種頻率，也可選配兆聲清洗功能。

帶有循環(huán)過濾、氮氣鼓泡、噴淋等功能

自動蓋結(jié)構(gòu)可降低溶解揮發(fā)及對人體的傷害

具有故障提示，報警等功能。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機各部分功能：

清洗槽：工件在清洗槽進行清洗，可將工件表面及縫隙中的油污、粉塵、指紋、汗?jié)n等離子型污垢震落；

漂洗槽：工件放入清洗槽后純水進行漂洗；

IPA槽：把殘留在工件上的水經(jīng)IPA脫除；

進排液管路裝置：用于進水與排放洗劑；

過濾系統(tǒng)：從儲液槽中泵抽取經(jīng)過濾器過濾后，使清潔的溶液重新流回至清洗槽內(nèi)；

電器控制面板：控制整機的電氣部分，集中控制清洗機的各項功能，保證整機功能的實現(xiàn)。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機工藝流程和配置：

     由不銹鋼材質(zhì)制作的超音波溶劑、水劑清洗槽，市水漂洗槽、純水漂洗槽、IPA清洗槽、IPA干燥槽等組成的一條連續(xù)工作的由清洗到干燥的裝置。操作者將裝有工件的清洗籃依次送往各清洗工位，對工件進行清洗、升降干燥，完成清洗、干燥的工作循環(huán)。

上下料裝置：

上料方式：以人工將洗籃放置在上料位，裝好工件，上料位有感應(yīng)器控制定位。

下料方式：單臂機械手將洗籃放在下料位,下料位有感應(yīng)器提醒人取籃。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機機械臂部分：

1、機械臂結(jié)構(gòu)組成

單臂型機械臂由機架、機械臂傳動系統(tǒng)、吊臂、電氣控制裝置等組成。

2、機械臂基本結(jié)構(gòu)及工作原理

機架：全不銹鋼制作的支撐架結(jié)構(gòu)，焊接在設(shè)備底盤上，以保證機械強度及機械臂的穩(wěn)定性。頂部安裝有水平橫移導(dǎo)軌。

橫移傳動系統(tǒng)：采用步進電機配合同步輪和同步帶傳動結(jié)構(gòu)傳動。PLC程序控制動作。保證橫移動作的相對精度和穩(wěn)定性。

提升傳動機構(gòu)：采用步進電機配合鏈輪鏈條傳動，直線導(dǎo)軌制作的支撐結(jié)構(gòu)，PLC程序控動作。保證升降動作的平穩(wěn)可靠。

不銹鋼吊臂：設(shè)有不銹鋼吊臂，四掛鉤定位設(shè)計。主吊臂采用螺栓固定在機械臂安裝座上。全不銹鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計。

電氣控制裝置：采用日本松下可編程序控制器控制機械臂動作。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機特點：

自主研發(fā)的超聲波發(fā)生器、超聲波換能器，超聲強勁均勻，機械Q值高、性能穩(wěn)定，使用壽命長。

PLC控制系統(tǒng)：進排水、清洗溫度、清洗時間、烘干時間、過濾循環(huán)時間、超聲波功率等所有參數(shù)在人機界面設(shè)置運行。

過濾循環(huán)系統(tǒng)：過濾精度1-50um可選，過濾掉清洗液中的顆粒沉淀物、懸浮物、漂浮物等，提高清洗劑利用率，節(jié)省清洗成本。

內(nèi)槽材質(zhì)采用304不銹鋼，耐酸堿，抗腐蝕能力強。

使用優(yōu)質(zhì)不銹鋼包裹，采用1.0mm厚電解板噴粉及亞加力板活動門和透明觀察窗。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機清洗槽內(nèi)投入籃、搬出籃及槽間移動籃的全部過程都由機械手自動完成。

清洗籃：骨架采用圓枝結(jié)構(gòu)，四周和底板采用不銹鋼孔板焊接，承重能力強。

根據(jù)工藝要求，可選配各種頻率段的超聲波系統(tǒng)。

智能型多臂式機械手，定位，運行穩(wěn)定。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機整機采用PLC+觸摸屏控制，可根據(jù)生產(chǎn)需要監(jiān)控及調(diào)整工藝參數(shù)。

上下雙邊拋動系統(tǒng)，清洗面均勻，效果更佳。

氣動式進出料輸送系統(tǒng)，有效杜絕二次污染。

FFU高效過濾系統(tǒng)，確保工作內(nèi)環(huán)境的潔凈度。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機獨特的溢流裝置及熱交換器，節(jié)能減排。

自動化程度高，適宜于連續(xù)大批量生產(chǎn)，清洗品質(zhì)穩(wěn)定。

清洗采用刷洗配合高壓進行清洗，可以有效的清洗各種污漬、指紋和汗?jié)n等雜質(zhì)。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機輸送采用滾輪輸送，機內(nèi)配有導(dǎo)向機構(gòu)，可以有效的防止玻璃跑偏。

臺灣式風(fēng)刀，切水干凈徹底。保證不留有水分。

水循環(huán)系統(tǒng)采用逐級溢流方式，可以有效節(jié)約用水。

設(shè)計符合國際、國內(nèi)通行安全防護標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備具有完善的防護裝置。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機各種防護門、窗均有連鎖保護開關(guān)。運動部件和油、氣、液、電線、電纜等單元進行單獨防護。設(shè)備穩(wěn)定運行時噪聲≤85dB（按檢測）。

配置的壓力容器和蓄能裝置均附有檢定證書和技術(shù)說明。

均設(shè)有急停開關(guān)，安裝在便于緊急操作的位置，顏色為紅色。

配備安全操作指導(dǎo)書，危險部位均進行文字和危險圖形標(biāo)識。

全自動藍寶石襯底片超聲波清洗機運輸與安裝：

搬運方法：搬運時應(yīng)平起平落，垂直方向傾斜度不得超過30°，不能碰撞機器。

安裝位置：機器應(yīng)安裝在通風(fēng)干燥的地方，其環(huán)境溫度、濕度不應(yīng)過高，機體應(yīng)平穩(wěn)位置，距離墻應(yīng)有適當(dāng)距離（建議大于1m），以便機器的通風(fēng)散熱及維護方便。