自動晶圓卡塞清洗機

全自動晶圓卡塞清洗機性能卓越，價格具有競爭力，采用國際先進本多換能器，優(yōu)質發(fā)生器，具有安全可靠經濟的特點，公司承諾為全自動晶圓卡塞清洗機提供一年免費保養(yǎng)，終身維護.完善的售后服務，博得廣大客戶的青睞。

全自動晶圓卡塞清洗機特征：

1.適合無塵室清洗作業(yè)

2.采用過濾循環(huán)系統(tǒng)

3. 全自動晶圓卡塞清洗機數字顯示溫度控制指示器

4.故障報警診斷功能

5. 全自動控制、10英寸彩色觸摸屏控制面板

6. 所有槽體、噴淋管道全部SUS304材質

7.加強型不銹鋼網帶輸送（不傷產品）

8. 全自動晶圓卡塞清洗機通過性好，風刀高度可以設計為自動調節(jié)

9. 大小托盤可以共用，托盤水平擺放清洗

10. 輸送速度2米/分鐘（±30%可調節(jié)）

11. 全自動晶圓卡塞清洗機網帶寬度：400mm，600mm，800mm，1000mm，1200mm可選

12.無需壓縮空氣，避免二次污染

13. 自動清洗，干燥，避免人工清洗不徹底，返工現象

14.產品完全干燥無水痕

15.可以根據客戶要求出入口采用機械手自動上下料

全自動晶圓卡塞清洗機規(guī)格與參數：

1. 尺寸：約10880(L)×1800 (W)×2300 (H)（外形尺寸可以根據實際場地要求調整）

2.供電：380V 50HZ 三相五線

3. 全自動晶圓卡塞清洗機總功率：約 60-120KW

4. 重量：約3-6噸

5.純水用量：約5L/分鐘

全自動晶圓卡塞清洗機電控柜說明：

1）.獨立控制柜,有手動和自動切換功能

2）.本系統(tǒng)采用德國“西門子”PLC和觸摸屏,能控制顯示清洗機各工位運行狀態(tài)

3）.儲液槽安裝液位控制器，液位高低控制均接入PLC，加熱及泵浦按即定程序運行，并設有蜂鳴器、配三色工作指示燈，聲光報警裝置

4）. 全自動晶圓卡塞清洗機上下料處安裝緊急停車按鈕

5）.清洗機操作按鈕分布在電控柜外側，布置在清洗機進口操作工位一側，控制盤加密碼鎖定，防止非授權人員修改并設定運行參數

6）.考慮到屏柜內設備的散熱問題，屏柜設有散熱窗口及加裝散熱風扇

7）.設備照明：電器柜內——日光燈，電氣柜內維修照明及插座

8）. 全自動晶圓卡塞清洗機操作按鈕有明顯標識.